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一種半導體設(shè)備真空機械手
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圖紙介紹 ： 一種應用于半導體設(shè)備的真空機械手，兼容高真空度，日本JEL品牌機械手，聯(lián)動型設(shè)計，0~330°擺動角度，應用在晶圓搬運場合，單臂長260mm，機械手可伸出長度（不算手指）520mm，另附二維尺寸圖紙，供方案參考使用。

行業(yè)用途 ： 機械設(shè)備

設(shè)計軟件 ： SolidWorks

版本/編輯 ： SolidWorks2018 【可編輯、不含參數(shù)】

文件格式 ： Sldprt Sldasm

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