圖紙介紹 ：
本模型為一款高性能全自動(dòng)曝光機(jī)，整機(jī)外形尺寸為 2500mm × 3200mm × 2558mm (長(zhǎng)×寬×高)。該設(shè)備集成了先進(jìn)的自動(dòng)化功能，包括自動(dòng)上下料系統(tǒng)、高精度自動(dòng)視覺(jué)對(duì)位系統(tǒng)以及自動(dòng)曝光單元，實(shí)現(xiàn)了制程的高度自動(dòng)化與集成化。
其核心定位技術(shù)采用高性能的 UVW 對(duì)位平臺(tái)，配合精密的直線模組驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。UVW 平臺(tái)結(jié)構(gòu)確保工作臺(tái)能夠在平面內(nèi)實(shí)現(xiàn) X/Y/θ 三自由度的精密調(diào)整，結(jié)合直線模組的高剛性及平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)特性，使設(shè)備整體對(duì)位精度達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先的 ±3μm 級(jí)別，滿足高精度光刻制程的嚴(yán)苛要求。
行業(yè)用途 ： 機(jī)械設(shè)備
設(shè)計(jì)軟件 ： SolidWorks
版本/編輯 ： 通用 【可編輯、不含參數(shù)】
文件格式 ： step(stp)
下載權(quán)限 ： 鉆石會(huì)員.等級(jí)及以上
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